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尘车间控制温湿度的重要性

      无尘车间温湿度主要是根据生产工艺要求来确定的,在满足生产工艺的条件下,首选应该考虑人的舒适感。随着空气洁净度要求的提高,工艺对温湿度的要求也越来越高,必须达到一定的温湿度要求。如在大规模集成电路生产的光刻曝光工艺中,温度上升,就可能引起线性膨胀,同时要求湿度值一般较低。

1、洁净度级别高的空间的压力要高于相邻的洁净度级别低的空间的压力。

2、相通洁净室之间的门要开向洁净度级别高的房间。

3、洁净空间的压力要高于非洁净空间的压力。